本章では、マイクロ波回路、マイクロ機器の性能を評価する際に必要なマイクロ波計測器を紹介する。
6.1 ネットワークアナライザ
マイクロ波回路の通過特性、反射特性を評価する計測器。
6.2 スペクトラムアナライザ
信号を周波数軸で見た時の特性（スプリアス特性等）を評価する計測器。
6.3 オシロスコープ
信号を時間軸で見た時の特性（立ち上がり時間等）を評価する計測器。
6.4 パワーメータ
信号の電力レベルを評価する計測器。
6.5 シグナルジェネレータ
任意の周波数、電力レベルの信号を出力する計測器。最近では、変調波等様々な信号を出力することが可能。